October 13,2026
베어링이 "청정 작업 환경"에서 작동할 때 핵심 요구 사항은 제품 자체의 오염을 방지하기 위해 낮은 입자 발생, 낮은 아웃가싱, 윤활제 비산이 없는 것입니다. 이러한 환경은 일반적으로 공기 중 입자 농도 수준에 대해 매우 엄격한 제한을 둡니다.
반도체 및 LCD 제조 장비
이는 클린룸 베어링의 가장 대표적인 응용 분야입니다. 반도체 제조에서는 미세한 입자조차 칩 수율에 영향을 미칠 수 있으며, 단 하나의 0.01μm 입자도 문제를 일으킬 수 있습니다. 웨이퍼 이송 로봇의 조인트 베어링이 정/역회전 또는 진동 중에 입자나 아웃가싱을 발생시키면 웨이퍼를 직접 오염시킬 수 있습니다. 응용 분야는 리소그래피, 코팅, 에칭, 스퍼터링 및 기타 장비를 포함합니다.
박막 제조 장비
유기 EL(OLED) 제조 장비 및 고성능 박막 제조 장비를 포함하며, 이들 역시 작동 중 필름을 오염시킬 수 있는 입자나 가스 배출을 발생시키지 않는 베어링을 필요로 합니다.
의료 및 제약 장비 (클린룸/아이솔레이터)
무균 주사기 키트 포장 아이솔레이터 및 의료기기 제조와 같은 시나리오에서는 A급 클린룸 환경에서 무윤활, 저입자 발생, 화학적 소독에 대한 내성을 갖춘 베어링이 필요합니다.
식품 및 위생 환경
더 넓은 "청정" 범주에 속하지만, 위생 환경은 클린룸과 다릅니다. 클린룸은 제품에 대한 입자 및 아웃가싱 오염에 중점을 두는 반면, 위생 환경은 윤활제가 규정을 준수하는지(예: 식품 등급)와 세척 및 화학적 부식에 대한 내성 여부에 더 중점을 둡니다.
진공 환경
초고진공은 청정 환경의 확장입니다. 진공 환경은 낮은 입자 발생뿐만 아니라 극히 낮은 아웃가싱도 요구하는데, 방출된 가스는 진공 수준을 저하시키고 공정을 오염시키기 때문입니다.
순수 그리스 충전 베어링 (스테인리스 스틸 베이스)
스테인리스 스틸 베어링을 베이스로 사용하며, 특수 배합된 클린룸 그리스를 충전합니다. LG2 및 LGU 그리스는 대기압, 상온 청정 조건에 적합하며, FG9/DL2 불소계 그리스는 내열성이 우수하여 대기압에서 진공 환경까지 적합합니다. 특징으로는 그리스 비산 및 입자 발생이 최소화되고 수명이 깁니다.
DFO 베어링 (순수 윤활제 코팅 유형)
내외륜, 볼, 케이지 모두 초저증기압 윤활 필름으로 코팅되어 있습니다. E-DFO는 탄화수소 오일 코팅이며, V-DFO는 불소계 오일 코팅입니다. 클린룸 그리스 충전 베어링보다 입자 발생이 적고 아웃가싱이 극히 낮습니다. 대기압에서 진공 청정 환경까지 적합하며, 긴 수명과 높은 청정도를 결합한 새로운 개념의 베어링입니다.
고체 윤활제 코팅 베어링 (불소계 폴리머 코팅)
전동면에 불소계 폴리머 코팅을 적용하여 고체 윤활을 구현합니다. SEZZSTPRZ와 같은 JTEKT 모델은 표준형 대비 10배 이상의 사용 수명을 달성하며, Class 10 청정도 수준에 적합하고, 온도 범위는 -30~200°C로 반도체 제조, 리소그래피, 진공 모터에 사용됩니다. 고온 Clean Pro 베어링은 작동 온도를 260°C까지 확장합니다.
전세라믹 베어링 (질화규소)
내외륜과 볼이 모두 질화규소 세라믹으로 제작되며, 불소계 자가 윤활 케이지와 결합됩니다. 매우 높은 내식성과 내마모성을 제공하며, 비자성으로 청정, 진공, 부식 조건에 적합합니다. CEROBEAR 세라믹 베어링은 표준 강 베어링 대비 최대 100배의 사용 수명을 달성할 수 있습니다.
하이브리드 세라믹 베어링 (스테인리스 스틸 링 + 세라믹 볼)
석출 경화 스테인리스 스틸 링에 질화규소 세라믹 볼과 불소계 수지 케이지를 결합합니다. 화학 제조 장비, 식품 기계, 세척 장비 등 내식성이 요구되는 청정 환경에 적합합니다.
엔지니어링 플라스틱 베어링
igus xiros 시리즈는 고성능 엔지니어링 플라스틱(xirodur C160/C161)으로 제작되어 완전 무윤활, 무보수이며, 높은 내마모성과 내화학성, 극히 낮은 입자 방출을 갖습니다. 배터리 생산 및 반도체 산업의 컨베이어 롤러, 경량 로봇 암과 같은 중속, 경하중 응용 분야에 적합합니다.
에어 베어링 및 자기 부상 베어링 (비접촉 솔루션)
에어 베어링은 공기막을 통해 완전한 비접촉 지지를 구현하여 이론적으로 마찰이나 입자가 발생하지 않으며, 청정도 요구 사항이 극히 높은 직선 운동 응용 분야에 적합합니다. 능동 자기 베어링(AMB)은 전자기력으로 샤프트를 지지하여 역시 비접촉 작동을 구현하며, 연구를 통해 ISO Class 5 청정도 표준을 충족함이 검증되었습니다.
주요 선정 고려 사항
클린룸 베어링의 선정은 링 및 전동체 재료뿐만 아니라 윤활 방식(그리스 윤활, 오일 코팅, 고체 코팅 또는 완전 무윤활)과 케이지 재료(불소계 수지, PEEK, PTFE 코팅 등)에 크게 좌우되며, 이들이 함께 입자 발생 및 아웃가싱 수준을 결정합니다.
귀하의 장비가 청정 작업 환경을 위한 맞춤형 베어링을 필요로 하지만 표준 베어링으로 요구 사항을 충족할 수 없는 경우, 언제든지 문의해 주십시오. 귀하의 특정 요구에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공해 드릴 수 있습니다.
